"अतिसूक्ष्मतंत्रज्ञान" च्या विविध आवृत्यांमधील फरक

रिचर्ड फेनमन यांच्या संकल्पनेतून उत्स्फूर्त होऊन के. एरिक् ड्रेक्स्लर यांनी स्वतंत्रपणे 'नॅनो-टेक्नॉलॉजी' ही संज्ञा आपल्या 'Engines of Creation: The Coming Era of Nanotechnology' या १९८६ साली लिहिलेल्या पुस्तकात वापरली. या पुस्तकात त्यांनी एका अशा नॅनो प्रमाणावरच्या "assembler" ची कल्पना मांडली, जो स्वत:च्या आणि इतर वस्तूंच्या आण्विक पातळीवर नियंत्रित अशा प्रतिकृती निर्माण करु शकेल. तसेच १९८६ मध्ये ड्रेक्स्लर यांनी 'नॅनो संकल्पना आणि तिचा प्रभाव' यासंबंधी जनजागृती व समज वाढविण्याच्या हेतूने 'The Foresight Institute' ची सहस्थापना केली. अशा प्रकारे के. एरिक् ड्रेक्स्लर यांचे सैद्धांतिक आणि सार्वजनिक कार्य, आणि तत्कालीन ठळक प्रायोगिक विकास, यांतून एक सशोधनसंशोधन क्षेत्र म्हणून १९८० मध्ये अतिसूक्ष्मतंत्रज्ञान शास्त्राचा उदय झाला.

उदाहरणार्थ, १९८१ मध्ये 'स्कॅनिंग टनेलिगटनेलिंग सूक्ष्मदर्शकयंत्राचासूक्ष्मदर्शक' यंत्राचा शोध लागला, आणि त्यामुळे एकेका अणूचे निरिक्षण करणे शक्य झाले. तसेच ह्या यंत्राचा १९८९ मध्ये यशस्वीरित्या एकेक अणू हाताळण्यासाठी वापर करण्यात आला. या सूक्ष्मदर्शकयंत्राचे जनक, IBM Zurich येथिल शास्त्रज्ञ Gerd Binnig आणि Heinrich Rohrer यांना १९८६ मध्ये भौतिकशास्त्रातील नोबेल पुरस्काराने सन्मानित करण्यात आले. Binnig, Quate आणि Gerber यांनी त्याच साली अटोमिक'अॅटोमिक फोर्स सूक्ष्मदर्शकयंत्राचासूक्ष्मदर्शक' यंत्राचा देखील शोध लावला. १९८५ मध्ये Harry Kroto, Richard Smalley, आणि Robert Curl यांनी फुलेरिन् चाफुलेरिनचा शोध लावला. त्यांना रसायनशास्त्रातील नोबेल पुरस्कार प्राप्त झाला. अशा प्रकारचे ठळक प्रायोगिक विकास झाल्यामुळे अतिसूक्ष्मतंत्रज्ञान शास्त्राचा वेगाने प्रसार झाला.